行業(yè)類別：制造業(yè)/專用設(shè)備制造業(yè)/電子和電工機(jī)械專用設(shè)備制造/半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造 科學(xué)研究和技術(shù)服務(wù)業(yè)/研究和試驗(yàn)發(fā)展/工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展 行業(yè)代碼：C3562（半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造）、M7320（工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展） 生產(chǎn)產(chǎn)品及產(chǎn)能：本項(xiàng)目擴(kuò)建后仍從事離子注入機(jī)的生產(chǎn)組裝及離子注入工藝的驗(yàn)證?？赡暝霎a(chǎn)離子注入機(jī)設(shè)備30臺（擴(kuò)建后共60臺），產(chǎn)品開發(fā)部驗(yàn)證環(huán)節(jié)增加50天（擴(kuò)建后共100天）。 工藝：離子注入機(jī)制造工藝流程：原料檢驗(yàn)、系統(tǒng)部件組裝、總裝、調(diào)試、抽查測試、包裝出廠 離子注入工藝驗(yàn)證流程：抽真空、摻雜氣體離子化、離子束注入、抽真空、清掃。 涉及職業(yè)病危害因素：三氟化硼、一氧化碳、磷化氫、氟及其化合物（按氟計(jì)）、砷化氫、銻及其化合物、六氟化硫、二氧化錫（按錫計(jì)）、乙醇、工頻電場、噪聲 | 
